装置データ監視解析ツール TDX

TDX 装置の運転監視および装置データの解析

装置パラメータのガードバンド監視、SPC監視、トレンド予測、多変量監視などの監視閾値を、手動および自動で生成し、多数の装置パラメータ監視を簡単な操作で実行します。

TDX

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  • 装置CSVデータ読み込み
    • CSVデータを読み込んでバイナリ形式で保存
  • 波形監視
    • ガードバンド監視、可変ガードバンド監視
  • 統計監視
    • SPC（統計的工程監視）、トレンド予測
  • 多変量監視
    • 代表値多変量監視、波形多変量監視、波形パターン監視
  • 統計解析
    • 主成分、重回帰、PLS回帰、HotellingT2、MTS
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