装置データ監視解析ツール TDX

TDX 装置の運転監視および装置データの解析

装置パラメータ毎に任意のFD/解析ロジックを短時間で作成し、最適なFDシステムを素早く構築できます。

TDX

TDX

TDX

  • CSVデータ読み込み(CSV data reading)
    • CSVデータを読み込んでバイナリ形式で保存(CSV data reading)
  • データ管理(Data Management)
    • 表示解析データセット設定(Analysis Data Setup)
  • 波形表示(Wave Display)
    • ライン図(Line Chart)、散布図表示(Scattering Chart)、ガードバンド作成(Guard Band setup)
  • 解析シーケンス(Analysis Sequence)
    • 解析/FDロジック作成(FD/Analysis logic creation)
  • トレンド解析(Trend Analysis)
    • 統計データ解析(Statistical Data Analysis)、SPC
  • 統計解析(Statistical Analysis)
    • 主成分(PCA)、重回帰(MLR)、HotellingT2
  • FD/周期起動(FD/Periodical Startup)
    • R2R FD (Run to Run FD)、周期FD (Periodical FD)
    dura systems